NEGのアクティベート終了後,現在真空度4x10^-6Pa,
チャンバー温度100度ぐらい
真空が悪いと思ったら、後ろのゲートがあいていました。<br>それからi-Gonioの203フランジも締め付けが甘かったようです。
真空が悪いと思ったら、後ろのゲートがあいていました。<br>それからi-Gonioの203フランジも締め付けが甘かったようです。