15Tクールダウン手順
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開始行:
[[装置]]
[[ObsoleteExperinent]]
メニュー説明
#contents
#norelated
*真空層真空引き [#r4098e64]
TMP-真空層のラインを配管~
バルブ直前まで真空引~
真空度が安定しはじめたら、バルブを徐々にOPEN~
*メインバスの乾燥 [#m0f8c515]
これは、必要に応じて行ってください。~
メインバス出口を開放~
N2用チューブを差込、そこにN2ガスを配管~
二次圧を0.2 MPa程度にし、フルオープン。排気に適度な抵抗が...
3時間後、0.1 MPa程度にして、一晩放置~
終了行:
[[装置]]
[[ObsoleteExperinent]]
メニュー説明
#contents
#norelated
*真空層真空引き [#r4098e64]
TMP-真空層のラインを配管~
バルブ直前まで真空引~
真空度が安定しはじめたら、バルブを徐々にOPEN~
*メインバスの乾燥 [#m0f8c515]
これは、必要に応じて行ってください。~
メインバス出口を開放~
N2用チューブを差込、そこにN2ガスを配管~
二次圧を0.2 MPa程度にし、フルオープン。排気に適度な抵抗が...
3時間後、0.1 MPa程度にして、一晩放置~
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