竹内メモ-真空
をテンプレートにして作成
[
トップ
] [
新規
|
一覧
|
検索
|
最終更新
|
ヘルプ
|
ログイン
]
開始行:
[[Soft X-ray Diffraction]]
[[ObsoleteExperiment]]
#contents
**メインチャンバーを大気開放するとき [#m150132c]
+ゲートバルブが確実に閉まっているか確認する。
--チャンバー上下流の圧空GV(GV23b, GV24b)
--準備槽との間の手動GV
--NEGポンプの手動ゲートバルブ
+真空ゲージをOFFにする
--イオンゲージ(NIG)：FILAMENT OFF⇒電源OFF
--コールドカソードゲージ(CCG)：V24bのコントローラの下向き...
+メインチャンバー大ターボ排気口のアングルバルブを閉める
+メインチャンバー大ターボコントローラのSTOPボタンを押して...
減速中：BRAKEの黄色ランプが点灯。停止時：インジケータにLE...
+小ターボ、スクロールポンプを停止する
+リークバルブが閉まっていることを確認して、オールメタルバ...
始めは硬いので、トルクレンチなどを使い、緩んだら開閉質冶...
+乾燥窒素リークセットを持ってきて取り付ける。~
回折装置に一番近いリークセットの元栓はSAS装置横の圧空用マ...
+ゆっくりとリークバルブを開けて行きチャンバーに窒素を入れ...
※準備槽もほぼ同様~
※NIGを点灯したままベントするとフィラメントが切れます。
**メインチャンバーを真空引きするとき [#n17cdcb2]
+締め忘れたフランジなどが無いか確認する
+リークバルブが閉まっていることを確認する。(オールメタル...
+(大ターボのRESETボタンを3秒以上押し続け、TUNIG MODEに入...
+スクロールポンプのサイレンサーを取り外す
+スクロールポンプをON
+大ターボ排気口のアングルバルブをゆっくり開けて行く~
ポンプコントローラのサーモカップル真空計表示機(緑色のLED...
同時に小ターボをONにしても加速時間がかかりすぎてFAILにな...
+小ターボをONにする。~
サーモカップル真空計表示器の真空度が一瞬悪くなるがターボ...
サーモカップル真空計表示器が最小値を示すぐらいまで待つ。
+大ターボをONにする。
+大ターボがNormalになったらCCGをONにする。~
V24bのコントローラの上向き三角を3秒以上押し続ける
+ONにしたとき真空度が、4E-4Pa程度であればいつも通り。
+取り外したサイレンサーを付け直す。
※引き続きベーキングをするのであればオールメタルバルブは全...
※ベーキングをしないで実験をする場合は、実験開始直前にオー...
**ベーキングに注意すること [#y9054a7d]
-周囲に可燃物が無いか確認する
-遮光用のゴムシートを回収する
-PM16C、モータードライバの電源をすべてOFFにする
-モーターケーブルをすべて取り外す~
いつもはLアングルに縛り付けています。
-Azimuth、Tilt軸のストッパーのネジを締める。
-あまり高温になって欲しくないところにアルミホイルを巻きつ...
マニピュレータベロー、上下流BL接続部ベローなど
-マニピュレータの温度計はベローに巻きつけたアルミホイルに...
**装置をBLから退避したとき [#k14b7c2e]
終了行:
[[Soft X-ray Diffraction]]
[[ObsoleteExperiment]]
#contents
**メインチャンバーを大気開放するとき [#m150132c]
+ゲートバルブが確実に閉まっているか確認する。
--チャンバー上下流の圧空GV(GV23b, GV24b)
--準備槽との間の手動GV
--NEGポンプの手動ゲートバルブ
+真空ゲージをOFFにする
--イオンゲージ(NIG)：FILAMENT OFF⇒電源OFF
--コールドカソードゲージ(CCG)：V24bのコントローラの下向き...
+メインチャンバー大ターボ排気口のアングルバルブを閉める
+メインチャンバー大ターボコントローラのSTOPボタンを押して...
減速中：BRAKEの黄色ランプが点灯。停止時：インジケータにLE...
+小ターボ、スクロールポンプを停止する
+リークバルブが閉まっていることを確認して、オールメタルバ...
始めは硬いので、トルクレンチなどを使い、緩んだら開閉質冶...
+乾燥窒素リークセットを持ってきて取り付ける。~
回折装置に一番近いリークセットの元栓はSAS装置横の圧空用マ...
+ゆっくりとリークバルブを開けて行きチャンバーに窒素を入れ...
※準備槽もほぼ同様~
※NIGを点灯したままベントするとフィラメントが切れます。
**メインチャンバーを真空引きするとき [#n17cdcb2]
+締め忘れたフランジなどが無いか確認する
+リークバルブが閉まっていることを確認する。(オールメタル...
+(大ターボのRESETボタンを3秒以上押し続け、TUNIG MODEに入...
+スクロールポンプのサイレンサーを取り外す
+スクロールポンプをON
+大ターボ排気口のアングルバルブをゆっくり開けて行く~
ポンプコントローラのサーモカップル真空計表示機(緑色のLED...
同時に小ターボをONにしても加速時間がかかりすぎてFAILにな...
+小ターボをONにする。~
サーモカップル真空計表示器の真空度が一瞬悪くなるがターボ...
サーモカップル真空計表示器が最小値を示すぐらいまで待つ。
+大ターボをONにする。
+大ターボがNormalになったらCCGをONにする。~
V24bのコントローラの上向き三角を3秒以上押し続ける
+ONにしたとき真空度が、4E-4Pa程度であればいつも通り。
+取り外したサイレンサーを付け直す。
※引き続きベーキングをするのであればオールメタルバルブは全...
※ベーキングをしないで実験をする場合は、実験開始直前にオー...
**ベーキングに注意すること [#y9054a7d]
-周囲に可燃物が無いか確認する
-遮光用のゴムシートを回収する
-PM16C、モータードライバの電源をすべてOFFにする
-モーターケーブルをすべて取り外す~
いつもはLアングルに縛り付けています。
-Azimuth、Tilt軸のストッパーのネジを締める。
-あまり高温になって欲しくないところにアルミホイルを巻きつ...
マニピュレータベロー、上下流BL接続部ベローなど
-マニピュレータの温度計はベローに巻きつけたアルミホイルに...
**装置をBLから退避したとき [#k14b7c2e]
ページ名:
![[PukiWiki]](image/pukiwiki.png "[PukiWiki]")
