15Tクールダウン手順 の履歴(No.1)

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  • 1 (2023-05-29 (月) 01:56:18)

装置

メニュー説明

真空層真空引き†

TMP-真空層のラインを配管
バルブ直前まで真空引
真空度が安定しはじめたら、バルブを徐々にOPEN

メインバスの乾燥†

これは、必要に応じて行ってください。
メインバス出口を開放
N2用チューブを差込、そこにN2ガスを配管
二次圧を0.2 MPa程度にし、フルオープン。排気に適度な抵抗がある程度
3時間後、0.1 MPa程度にして、一晩放置