竹内メモ-真空の履歴(No.1)

ゲートバルブが確実に閉まっているか確認する。
- チャンバー上下流の圧空GV(GV23b, GV24b)
- 準備槽との間の手動GV
- NEGポンプの手動ゲートバルブ
真空ゲージをOFFにする
- イオンゲージ(NIG)：FILAMENT OFF⇒電源OFF
- コールドカソードゲージ(CCG)：V24bのコントローラの下向き三角を3秒以上押し続ける
メインチャンバー大ターボ排気口のアングルバルブを閉める
メインチャンバー大ターボコントローラのSTOPボタンを押して減速開始
減速中：BRAKEの黄色ランプが点灯。停止時：インジケータにLEVITATIONが表示される
小ターボ、スクロールポンプを停止する
リークバルブが閉まっていることを確認して、オールメタルバルブを開ける
始めは硬いので、トルクレンチなどを使い、緩んだら開閉質冶具で開ける。
乾燥窒素リークセットを持ってきて取り付ける。
回折装置に一番近いリークセットの元栓はSAS装置横の圧空用マニホールド上から2段目
ゆっくりとリークバルブを開けて行きチャンバーに窒素を入れる。

※準備槽もほぼ同様
※NIGを点灯したままベントするとフィラメントが切れます。

締め忘れたフランジなどが無いか確認する
リークバルブが閉まっていることを確認する。(オールメタルバルブは全開)
(大ターボのRESETボタンを3秒以上押し続け、TUNIG MODEに入りローターのバランス取りをする)
スクロールポンプのサイレンサーを取り外す
スクロールポンプをON
大ターボ排気口のアングルバルブをゆっくり開けて行く
ポンプコントローラのサーモカップル真空計表示機(緑色のLEDで円を描いているやつ)が、10Paをきるくらいまでスクロールポンプで排気する。
同時に小ターボをONにしても加速時間がかかりすぎてFAILになってしまうのでスクロールでできる限り真空を引いておく。
小ターボをONにする。
サーモカップル真空計表示器の真空度が一瞬悪くなるがターボの背圧が高いためなので、気にしない。大ターボのときも同様。
サーモカップル真空計表示器が最小値を示すぐらいまで待つ。
大ターボをONにする。
大ターボがNormalになったらCCGをONにする。
V24bのコントローラの上向き三角を3秒以上押し続ける
ONにしたとき真空度が、4E-4Pa程度であればいつも通り。
取り外したサイレンサーを付け直す。

※引き続きベーキングをするのであればオールメタルバルブは全開でよい。
※ベーキングをしないで実験をする場合は、実験開始直前にオールメタルバルブをトルクレンチを使って30 N/mで締める。

竹内メモ-真空 の履歴(No.1)