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[[Soft X-ray]]

#contents

**メインチャンバーを大気開放するとき [#m150132c]
+ゲートバルブが確実に閉まっているか確認する。
–チャンバー上下流の圧空GV(GV23b, GV24b)
–準備槽との間の手動GV
–NEGポンプの手動ゲートバルブ
+真空ゲージをOFFにする
–イオンゲージ(NIG)：FILAMENT OFF⇒電源OFF
–コールドカソードゲージ(CCG)：V24bのコントローラの下向き三角を3秒以上押し続ける
+メインチャンバー大ターボ排気口のアングルバルブを閉める
+メインチャンバー大ターボコントローラのSTOPボタンを押して減速開始~
減速中：BRAKEの黄色ランプが点灯。停止時：インジケータにLEVITATIONが表示される
+小ターボ、スクロールポンプを停止する
+リークバルブが閉まっていることを確認して、オールメタルバルブを開ける~
始めは硬いので、トルクレンチなどを使い、緩んだら開閉質冶具で開ける。
+乾燥窒素リークセットを持ってきて取り付ける。~
回折装置に一番近いリークセットの元栓はSAS装置横の圧空用マニホールド上から2段目
+ゆっくりとリークバルブを開けて行きチャンバーに窒素を入れる。

※準備槽もほぼ同様~
※NIGを点灯したままベントするとフィラメントが切れます。

**メインチャンバーを真空引きするとき [#n17cdcb2]
+締め忘れたフランジなどが無いか確認する
+リークバルブが閉まっていることを確認する。(オールメタルバルブは全開)
+(大ターボのRESETボタンを3秒以上押し続け、TUNIG MODEに入りローターのバランス取りをする)
+スクロールポンプのサイレンサーを取り外す
+スクロールポンプをON
+大ターボ排気口のアングルバルブをゆっくり開けて行く~
ポンプコントローラのサーモカップル真空計表示機(緑色のLEDで円を描いているやつ)が、10Paをきるくらいまでスクロールポンプで排気する。~
同時に小ターボをONにしても加速時間がかかりすぎてFAILになってしまうのでスクロールでできる限り真空を引いておく。
+小ターボをONにする。~
サーモカップル真空計表示器の真空度が一瞬悪くなるがターボの背圧が高いためなので、気にしない。大ターボのときも同様。~
サーモカップル真空計表示器が最小値を示すぐらいまで待つ。
+大ターボをONにする。
+大ターボがNormalになったらCCGをONにする。~
V24bのコントローラの上向き三角を3秒以上押し続ける
+ONにしたとき真空度が、4E-4Pa程度であればいつも通り。
+取り外したサイレンサーを付け直す。

※引き続きベーキングをするのであればオールメタルバルブは全開でよい。~
※ベーキングをしないで実験をする場合は、実験開始直前にオールメタルバルブをトルクレンチを使って”30 N/m”で締める。

• ベーキングに注意すること
  -周囲に可燃物が無いか確認する
  -遮光用のゴムシートを回収する
  -PM16C、モータードライバの電源をすべてOFFにする
  -モーターケーブルをすべて取り外す~
  いつもはLアングルに縛り付けています。
  -Azimuth、Tilt軸のストッパーのネジを締める。
  -あまり高温になって欲しくないところにアルミホイルを巻きつける。~
  マニピュレータベロー、上下流BL接続部ベローなど
  -マニピュレータの温度計はベローに巻きつけたアルミホイルにアルミテープで普段は固定している。

**装置をBLから退避したとき [#k14b7c2e]
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